高分辨率扫描电镜突破了传统台式扫描电子显微镜用BSD探测器成像的局限性，采用创新的双聚光成像技术，采用大规模扫描电子显微镜成像模式，并使用二次电子探测器作为基本成像单元。因此，可以获得更高的分辨率，这是真正意义上的高分辨率台式扫描电子显微镜。
高分辨率扫描电镜具有与大型扫描电子显微镜相同的分辨率。该设备实现了大型电子显微镜的小型化，放大倍数高达10万倍；搭载易于使用的可变光圈，可实现5nm的图像分辨率。
它是高分辨率台式扫描电子显微镜中的高分辨率设备；作为5轴工作台，它可以同时使用鼠标控制和快捷键移动样本进行分析；通过各种扫描模式和测试工具可以获得各种分析结果，广泛应用于材料科学、生命科学、教育、鉴定、工业、电子、环境、能源等领域。
高分辨率台式扫描电子显微镜是费纳电子显微镜系列中的先进产品。它是目前世界上高分辨率的台式扫描电子显微镜，可用于测量亚微米或纳米级样品。它继承了费纳电子显微镜系列的高分辨率全自动操作、2-3年的灯丝更换和防震设计。
高分辨率扫描电镜具有更简单易用的导航模式和更快的操作模式，它可以自动设置生物样品和材料样品，提高和扩展实验室中光学显微镜或扫描电子显微镜仪器的分辨率和景深。自动和手动控制高分辨率台式扫描电子显微镜的预设方案，高真空和低真空模式，导体和非导体样品不需要特殊的样品处理准备，如涂层和干燥。
