高性能场发射扫描电镜具有超高分辨率，具有高性能X射线能谱仪，能同时进行样品表层的微区点线面元素的定性、半定量及定量分析，具有形貌、化学组分综合分析能力，能做各种固态样品表面形貌的二次电子象、反射电子象观察及图像处理。
高性能场发射扫描电镜的日常维护与保养：
1、保持仪器操作平台干净整洁，不要靠在上面，不要将重物放在冰水器和其他设备上。
2、启动机器时，必须先打开水冷系统，并检查冷却水的温度。关闭机器至少15分钟后，可以关闭冷却水。
3、进样时，检查Z轴和T轴的位置。缓慢关闭样品室，确保样品室门*关闭，然后单击EVAC按钮抽气。
4、移动样品。将阶段驱动器移动到X和Y轴以移动样本，并确保其小于最大允许值。
5、将样品倾斜-10°~+45°，小心不要损坏探针。倾斜角度应根据样品台和样品条件选择。注意，样品可以倾斜的最大安全角度必须小于允许值，以防止样品撞击物镜极靴。
6、使用BSE探头时，不要倾斜样本台。
7、只有在关闭加速电压的情况下才能取出样品，不进行样品扫描时应关闭高压。
8、排气时必须关闭HT，120秒后必须轻轻打开样品交换室的门。
9、更换钨丝时，等待两分钟，然后打开电子枪，用专用工具取出钨丝和钨丝罩，以免烫伤。
10、电子显微镜需要手动调节的部件主要包括光圈、像散和调节工作距离的旋钮。
11、每周添加两到三次液氮，间隔不超过四天。
