SEM扫描电子显微镜是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。它由电子光学系统、信号收集及显示系统、真空系统和电源系统组成，应用于生物、医学、材料和化学等领域。
SEM扫描电子显微镜的结构组成：
1、电子光学系统
组成：电子枪、电磁透镜、扫描线圈和样品室等部件。
作用：获得扫描电子束、作为产生物理信号的激发源。
2、信号收集和显示系统
信号收集：二次电子和背散射电子收集器、吸收电子显示器、X射线检测器(波谱仪和能谱仪)
显示系统：显示屏有两个，一个用于观察，一个用于记录照相。
3、真空系统
组成：机械泵、扩散泵
作用：保证电子光学系统正常工作，提供高真空度，防止样品污染，保持灯丝寿命，防止极间放电。
4、电源系统
包括启动的各种电源，检测-放大系统电源，光电倍增管电源，真空系统和成像系统电源灯。还有稳压、稳流及相应的安全保护电路。
SEM扫描电子显微镜从原理上讲就是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描，激发出各种物理信息。通过对这些信息的接受、放大和显示成像，获得测试试样表面形貌的观察。它的制造依据是电子与物质的相互作用。
