FIB双束扫描电镜是通过聚焦离子束(FIB)与扫描电子显微镜(SEM)耦合成为FIB-SEM双束系统后，通过结合相应的气体沉积装置，纳米操纵仪，各种探测器及可控的样品台等附件成为一个集微区成像、加工、分析、操纵于一体的分析仪器。
FIB双束扫描电镜的工作流程如下：
1、执行激光加工的设置步骤
(1)将样品装载到样品夹上并传送到双束电镜主舱室。
(2)导入、覆盖和对齐蔡司关联工作区的三维X射线数据或二维光学显微镜图像等。
(3)找到您的感兴趣区域，获取参考图像。
2、对齐扫描电镜和激光坐标
(1)使用SEM扫描四个样品架基准点以锁定样品和SEM坐标。
(2)将样品运送到集成飞秒(fs)激光室。
(3)使用飞秒激光扫描四个样品架基准点以锁定样品和激光坐标。
(4)SEM和激光坐标现已对齐。
3、加工大量材料
(1)绘制您的激光图案。
(2)曝光您的激光图案。
(3)以优于2μm的目标精度快速去除大量材料。
4、将样品传送到双束电镜主舱室，让您的双束电镜继续工作
(1)已经能够观察到微结构细节。
(2)根据高分辨率成像的需要执行FIB抛光。
(3)使用新颖的工作流程创建TEM和原子探针样品。
(4)通过即时SEM反馈，快速优化激光方案。
