FIB双束扫描电镜

产品介绍

Scios 2 DualBeam FIB双束扫描电镜可快速轻松的定位制备各类材料的高分辨S/TEM样品。系统配备Thermo Scientific Auto Slice&View软件，可以高质量、全自动地采集多种三维信息。无论是在STEM模式下以30kV来获取结构信息，还是在较低的能量下从样品表面获取无荷电信息，系统可在广泛的工作条件下提供出色的纳米级细节。Scios 2 DualBeam可帮助所有经验水平的用户更快、更轻松的获得高质量、可重复的结果，此外，系统专为材料科学中具挑战的材料微观表征需求而设计，配备了全集成化、极快速MEMS热台，可在更接近真实环境的工作条件下进行样品表征。

Scios 2 DualBeam FIB双束扫描电镜参数：

发射源：高稳定型肖特基场发射电子枪

分辨率：
☆工作距离下1.4nm（1keV）

电子束参数：
☆探针电流范围：1pA – 400nA
☆加速电压范围：200V ~ 30kV
☆着陆电压范围：20eV ~ 30keV
☆导航蒙太奇功能，可额外增大视场宽度

离子光学：
大束流Sidewinder离子镜筒
加速电压范围：500v-30kv
离子束流范围：1.5pA-65nA
15孔光阑
不导电样品漂移抑制模式
离子源寿命至少1000h
离子束分辨率30kv下3.0nm

样品室：
☆电子束和离子束重合点在分析工作距离处（SEM7mm）
☆端口：588个
☆内宽：379mm

样品台：灵活五轴电动样品台
☆XY范围：110mm
☆Z范围：65mm
☆旋转：360° 连续
☆倾斜：-15°到+90°
☆大样品尺寸，直径110mm，可沿X、Y轴*旋转时
☆大样品高度，与优中心点间隔为85mm
☆大样品质量 5 kg（包括样品托）
☆同心旋转和倾斜

样品托：
☆标准多功能样品托，以*方式直接安装到样品台上，可容纳811个标准样品托架（φ12mm）、361个预倾斜样品托、88个垂直和88个预倾斜侧排托架（38°和90°），样品安装无需工具

探测器系统：可同步检测多达4中信号
☆样品室二次电子探测器ETD
☆镜筒内背散射电子探测器T1
☆镜筒内二次电子探测器T2
☆镜筒内二次电子探测器T3（可升级）
☆ IR-CCD红外相机（观察样品台高度）
☆ 可用于图像导航的彩色光学相机Nav-Cam+™
☆ 高性能离子转换和电子探测器ICE
☆ 可伸缩式低电压、高衬度、分割式固态背散射探测器DBS
☆ 电子束流测量

控制系统：
☆ 64 操作系统、键盘、光学鼠标
☆ 图像显示：24寸LCD显示器，显示分辨率1920×1200
☆ 支持用户自定义的GUI，可同时实时显示4幅图像
本地语言支持