赛默飞电子显微镜引入全新的能谱分析概念，采用*方法进行样品成分信息的采集、处理和展示。传统能谱会利用二次电子或背散射电子信息，却不利用其图像进行数据处理，因而数据获取速度较慢，而且图像分辨率相对粗糙。相比而言，赛默飞显微镜采集数据所用的是同一扫描发生器，将扫描电镜图像与能谱图像对中，因而图像更加锐利，图像噪音更少。此外，脉冲处理采用自适应脉冲整形技术，确保各种条件下均能获得可靠数据。元素分布图通过定量算法形成，因此，所显示的成分数据可靠，且结果中不会出现重叠峰误判等。专有的阴影检测算法帮助确保信息来自于检测到X射线的区域。
赛默飞电子显微镜启用方便、快速，它依托先进镜筒技术，保持系统始终处于最佳状态，可聚焦样品采集数据，随时提供高质量图像。系统同时集成了创新性的交互式用户指南，帮助用户充分利用系统的各项高级功能。能谱集成在用户界面中，可轻松完成成分分析，从而大程度提高工作效率。集成*的实时定量能谱面分析功能，专为快速分析而设计，操作简单，新手用户也可轻松操纵。
赛默飞电子显微镜采用全开门式设计，系统耐用性和灵活性更高，可以加载大而重(重达10 kg)的样品，从而节省样品制备时间。显微镜各方面性能表现出色，可表征各种不同类型材料，提供信息。低真空模式下压力可达150 Pa，能够分析广泛类型的样品。在分析不导电样品方面，低真空模式不仅可以消除荷电效应，还可以增强材料衬度，并支持采用较大束流进行成分分析。
